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石英坩埚的性能及使用

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石英坩埚的性能及使用

发布日期:2018-07-16 作者: 点击:

石英坩埚,具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点,应用越来越广泛。石英坩埚分为方形、圆形两大类:圆形的石英坩埚是用在单晶炉里拉制单晶硅的;方形的石英坩埚是用在多晶硅铸锭中的。

石英坩埚


石英坩埚的性能主要有热学性能和结晶性能。热性能是指它的热膨胀数低,所以具有非常好的抗热振性能。析晶是石英坩埚的高温下析出二氧化硅结晶的过程,也是晶体生长工艺中最忌讳的物理现象。石英坩埚的高纯性对晶体的物理参数及非平衡少数载流子寿命影响极大。

石英坩埚在使用过程中需要注意的事项如下:

石英坩埚主要化学成分是二氧化硅,除氢氟酸外不与其它酸作用,易与苛性碱及碱金属碳酸盐作用。

石英坩埚对热的稳定性很好,可直接放在火焰上加热。

石英坩埚和玻璃器皿一样,容易破碎,使用时要特别小心。

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