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石英坩埚的工艺特点介绍

早期的石英坩埚是全部透明的,最早期的石英坩埚是全部的透明的结构,这种透明的结构却容易引起导致不均匀的热传输条件,增加晶棒生长的困难度。 

1、现代拉单晶的石英坩埚一般是采用电弧法生产,半透明状,是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。

2、现代的石英坩埚则存在二种结构,外侧是一层具有高气泡密度的区域,称为气泡复合层,内侧则是一层3~5mm的透明层,称之为气泡空乏层。

3、气泡复合层的目的是在与均匀的辐射有加热器所提供的辐射热源。 

石英坩埚采用国内先进制埚离心机,用玻璃制子离心手工成型,用石墨电极、低压大电流电弧烧制(温度达到2000多度)

石英坩埚的工艺特点

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